钛硅靶

制备工艺

真空感应熔炼——热处理变形——机械加工

合金成分

Ti-Si（Si 原子比含量由 1 到 20%）

规格

多弧靶——最大直径 175mm

板靶——最大长度 600mm

特点

1.杂质少——纯度≥99.7%，甄选原材料，且悬浮熔炼制备过程中无杂质介入；

2.晶粒细小——晶粒≤80ppm，拥有细化晶粒的工艺，利于成膜效果；

3.氧含量低——600-800ppm，；

4.定制成分灵活——在合金成分范围内，随意定制，周期短，交货及时。