承德熔炼钛硅靶

制备工艺

磁悬浮真空感应熔炼——热处理——机械加工

合金成分

Ti-Si（Si 原子比含量由 1 到 15%）

规格

多弧靶——最大直径 175mm

板靶——最大长度 600mm

原料

超零级海绵钛、金属硅

特点

1.杂质少——纯度≥99.7%，甄选优质原材料，且悬浮熔炼制备过程中无杂质介入；

2.晶粒细小——晶粒≤80ppm，拥有独特的细化晶粒的工艺，利于成膜效果；

3.氧含量低——O≤600ppm，优于 HIP 工艺制备的合金材料；

4.定制成分灵活——在合金成分范围内，随意定制，周期短，交货及时。