溅射靶材使用指南

　　一、溅射准备

　　短路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化学杂质含量超标经常是由于不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的。

　　1、为保持镀膜的成分特性，溅射气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥，溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出，达到工艺所要求的真空度。

　　2、暗区屏蔽罩，腔体壁及邻近表面也需要保持洁净。

　　3、高纯金属生产的靶材采用真空密封塑料袋包装，内置防潮剂。使用靶材时请不要用手直接接触靶材。注意：使用靶材时请配带干净而且不会起绒的保护手套，避免用手直接接触靶材。

　　二、靶材清洁

　　靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁：

　　第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

　　第二步与第一步类似用酒精清洁;

　　第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

　　第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去射系统中会造成起弧的杂质微粒。

　　三、靶材安装

　　靶材安装过程中重要的注意事项是一定要保障在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。

　　四、短路及密封性检查

　　靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查，建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后，可以进行检漏检查，将水通入阴极确定是否存在漏水现象。

　　五、靶材预溅射

　　靶材预溅射建议采用纯氩气进行溅射，可以起到清洁靶材表面的作用。靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率，陶瓷类靶材的功率加大速率建议为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度可以比陶瓷靶材快，一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。在进行预溅射的同时需要检查靶材起弧状况，预溅射时间一般为10分钟左右。如没有起弧现象，继续提升溅射功率到设定功率。根据经验，金属靶材可承受的溅射功率为25watts/平方厘米，陶瓷靶材为10watts/平方厘米。 根据经验，一般应确保冷却水出水口的水温应低于35摄氏度，但重要的是确保冷却水的循环系统能有效工作，通过冷却水的快速循环带走热量，是确保能以较高功率连续溅射的一项重要保障。对于金属靶材一般建议冷却水流量为20LPM，水压在5GMP左右;对于陶瓷靶材一般建议水流量在30LPM，水压在9GMP左右。

　　六、靶材保养

　　为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。

　　七、靶材储存

　　中诺新材所提供的靶材包装在双层真空塑料袋中, 我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下，以避免贴合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装，我们建议需要包装在洁净的塑料袋中。

　　八、背靶材料

　　无氧铜(OFC)–目前常使用的作背靶的材料是无氧铜，因为无氧铜具有良好的导电性和导热性，而且比较容易机械加工。如果保养适当，无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。钼(Mo)–在某些使用条件比较特殊的情况下。

　　九、背靶重复使用

　　大部分背靶可以重复使用，尤其是采用金属铟进行贴合的比较容易进行清洁和重新使用。如果是采用其他贴合剂(包括环氧树脂)则可能需要采用机械处理的方式对背靶表面处理后才能重复使用。当我们收到用户提供的已使用过的背靶后。

　　十、包装和运输

　　靶材包装在真空密封塑料袋中，并附有防潮剂。四周有防撞层，以保护靶材和背靶避免在运输和储存过程中发生损坏。